A na-eji ndị na-ahụ maka ikuku na-ebugharị ma ọ bụ dobe wafer ma ọ bụ ihe n'ime ụlọ oghere pụrụ iche yana maka ngwa ejizi ihe. Ha na-enye mgbanwe mgbanwe n'ihi na anaghị eji njikọ siri ike. Ụfọdụ ndị na-emegharị oghere na-agụnye ngwaọrụ mgbago ma ọ bụ ihe mmetụ njedebe. Ndị ọzọ na-agụnye ihe mkpuchi ibu na osisi mkpara. Ọtụtụ mgbe, a na-ejikọta ndị na-eme ihe na-ekpo ọkụ na ụlọ ndị na-ekpo ọkụ. Ndị na-ahụ maka wafer ma ọ bụ robots bụ ụdị ihe na-arụ ọrụ ikuku na-akpaghị aka maka ịkwaga wafer ma ọ bụ ihe n'ime ma ọ bụ pụọ na PVD, CVD, plasma etching ma ọ bụ ụlọ nhazi oghere ndị ọzọ. Iji mepụta oghere oghere, moto oghere ma ọ bụ moto in-vacuum na-ebufe ikuku site n'ụgbọ ahụ ruo mgbe a ga-enweta nrụgide sub-ikuku achọrọ. Ọ bụrụ na oghere oghere nwere oghere dị oke elu, mgbe ahụ, a ga-eji igwe na-eme ihe na-adịghị mma na moto na-adịghị ahụkebe.
1. Ụdị pụrụ iche nke onye na-aṅụ mmanya nwere ike ime ka ihe ahụ bilie ma ọ bụ daa na ọchịchọ, ma na-atụgharịkwa n'akụkụ ọ bụla nke oche edozi nke sucker iji mee ka ọrụ ahụ dị mma na nke ziri ezi. Nhazi njikwa anya na-eweta ịdị mma na ọrụ ahụ ma hụ na nchekwa nke ndị ọrụ.
2. Mwekota nke igwe na-amịpụta agụụ na-anabata efere mmiri dị na mbubata, na ike adsorption siri ike, nchekwa dị elu na nchebe nke ngwaahịa site na mmebi.
3. Vacuum crane nwere ike iburu ihe ndị na-emebi emebi, siri ike ibuli, na elu dị larịị iji meziwanye arụmọrụ, belata ike ọrụ ma chekwaa ụgwọ ụlọ ọrụ.